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產品詳情
特征:面形精度高、超光滑表面、抗激光損傷閾值高
應用領域:軟X射線探測器、軟X射線顯微鏡、軟X射線投影光刻機、紫外激光器、紫外激光打標機、激光陀螺等。
對材料的要求:
材料:JGS1、康寧7980、賀利氏312等熔石英及微晶、晶體等
折射率nd允許差值:±2×10-4
色散系數vd允許差值:±0.2%
光學均勻性:±2×10-6
應力雙折射:2-5nm/cm
條紋度:C
氣泡度:a0
光吸收系數:k200<0.005cm-1
技術指標:
直徑(mm) |
徑厚比 |
光潔度(S/D) |
反射PV@λ=632.8nm |
平行度 |
表面粗糙度Rq(nm) |
有效口徑 |
尺寸公差(mm) |
φ8-φ30 |
10:1 |
5-1 |
1/20λ |
2” |
0.2 |
90% |
±0.05 |
φ30-φ60 |
10:1 |
5-1 |
1/20λ |
2” |
0.2 |
90% |
±0.05 |
關鍵詞:
超光滑光學元件
上一個
無
下一個
無